準安定凝縮相の作り分けに用いる高品質中性フリーラジカルビームの生成 Production of Refined Beams of Neutral Free Radicals for Selective Growth of Metastable Condensed Phases

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著者

    • 林 啓治 HAYASHI Keiji
    • 金沢工業大学高度材料科学R&Dセンター Advanced Materials Science R&D Center, Kanazawa Institute of Technology

収録刊行物

  • 真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN

    真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN 47(9), 676-682, 2004-09-20

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献:  19件中 1-19件 を表示

  • <no title>

    真下正夫編

    薄膜工学ハンドブック, 1998

    被引用文献1件

  • <no title>

    増田淳

    真空 46, 92, 2003

    被引用文献1件

  • <no title>

    寒川誠二

    応用物理 72, 1536, 2003

    被引用文献1件

  • <no title>

    HAYASHI K.

    Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., B 206C, 403, 2003

    被引用文献1件

  • <no title>

    HAYASHI K.

    Appl. Phys. Lett. 65, 2084, 1994

    被引用文献2件

  • <no title>

    井口洋夫監修

    宇宙環境利用のサイエンス, 2000

    被引用文献4件

  • <no title>

    WHITEHEAD J. C.

    Rep. Prog. Phys. 59, 993, 1996

    被引用文献1件

  • <no title>

    GREER W. A. D.

    Geophys. Res. Lett. 20, 731, 1993

    被引用文献1件

  • <no title>

    POLLARD J. E.

    Rev.Sci.Instrum. 63, 1771, 1992

    DOI 被引用文献2件

  • <no title>

    MIZUTANI T.

    J.Non-Cryst.Solids 181, 123, 1995

    DOI 被引用文献2件

  • <no title>

    CUTHBERTSON J. W.

    Rev. Sci. Instrum. 63, 5279, 1992

    被引用文献1件

  • <no title>

    SHUL R. J.

    Phys. Rev., A 41, 5856, 1990

    被引用文献1件

  • <no title>

    HAYASHI K.

    Nucl. Instrum. Methods Phys. Res., B 127-128, 918, 1997

    被引用文献1件

  • <no title>

    HAYASHI K.

    J. Vac. Sci. Technol., A 20, 991, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    HAYASHI K.

    Appl. Surf. Sci. 154-155, 542, 2000

    被引用文献1件

  • <no title>

    HAYASHI K.

    Materials Sci. in Semiconductor Processing 6, 159, 2003

    被引用文献1件

  • <no title>

    HAYASHI K.

    J. Vac. Sci. Technol., A 20, 995, 2002

    被引用文献1件

  • <no title>

    PONTIUS N.

    Phys. Rev., B 67, 35425, 2003

    被引用文献1件

  • <no title>

    CHUTJIAN A.

    Exp. Methods Phys. Sci. 29B, 49, 1996

    被引用文献1件

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10013667900
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    7119859
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  J-STAGE 
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