ナノインプリント技術による微細構造の形成

• 宮内 昭浩

  (株)日立製作所材料研究所電子材料研究部

• 桑原 孝介

  (株)日立製作所材料研究所電子材料研究部

• 荻野 雅彦

  (株)日立製作所材料研究所電子材料研究部

• 安藤 拓司

  (株)日立製作所材料研究所電子材料研究部

• 大橋 健也

  (株)日立製作所材料研究所電子材料研究部

書誌事項

タイトル別名

• Formation of Fine Structures by Nanoprint Technology
• ナノインプリント ギジュツ ニ ヨル ビサイ コウゾウ ノ ケイセイ

収録刊行物

• 成形加工

  成形加工 16 (9), 592-595, 2004-09-20

  一般社団法人 プラスチック成形加工学会

詳細情報

• CRID: 1390282679437964032
• NII論文ID: 10013743154
• NII書誌ID: AN10278882
• DOI: 10.4325/seikeikakou.16.592
• ISSN: 18837417
• ISSN: 09154027
• NDL書誌ID: 7105097
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7105097
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/seikeikakou1989/16/9/16_9_592/_pdf
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles