アーク放電蒸着法による酸化亜鉛薄膜の物性制御 Control of Properties of ZnO Thin Films Prepared by DC-Arc Ion Plating Method

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  • 真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN

    真空 = JOURNAL OF THE VACUUM SOCIETY OF JAPAN 47(10), 742-747, 2004-10-20

    一般社団法人 日本真空学会

参考文献:  20件中 1-20件 を表示

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    日本学術振興会透明酸化物光 電子材料第166委員会/編

    透明導電膜の技術, 1999

    被引用文献1件

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    日本経済新聞, 2003

    被引用文献8件

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    SAKEMI T.

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    粟井清

    電子材料 38, 39, 1999

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    田中勝

    技術試料 44, 435, 2001

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    岡本康治

    機能材料 5, 48, 1988

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    YAMAMOTO T.

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    YAMAMOTO T.

    physica status solidi (a) 193, 423, 2002

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    鯉沼秀臣

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    MINAMI T.

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    浦本上進

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    KOHAN A. F.

    Phys. Rev. B 61, 15019-15027, 2000

    被引用文献3件

  • Codoping for the fabrication of p-type ZnO

    YAMAMOTO T.

    Thin Solid Films 420-421, 100-106, 2002

    被引用文献8件

  • Optical and electrical properties of ZnO films prepared by URT-IP Method

    SHIRAKATA S.

    Thin Solid Films 445(2), 278-283, 2003

    被引用文献6件

被引用文献:  3件中 1-3件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10013767091
  • NII書誌ID(NCID)
    AN00119871
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    REV
  • ISSN
    05598516
  • NDL 記事登録ID
    7143512
  • NDL 雑誌分類
    ZN15(科学技術--機械工学・工業--流体機械)
  • NDL 請求記号
    Z16-474
  • データ提供元
    CJP書誌  CJP引用  NDL  J-STAGE 
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