小型冷凍機を用いたレーザ干渉式線膨張率測定装置の開発(3) : 単結晶シリコンの測定結果

• 山田 修史

  計量研究所

• 岡路 正博

  計量研究所

書誌事項

タイトル別名

• Development of an optical dilatometer using a cryogenic refrigerator (3) : Measurements for a single crystal silicon

収録刊行物

• 低温工学・超電導学会講演概要集 = Meetings of Cryogenics and Superconductivity

  低温工学・超電導学会講演概要集 = Meetings of Cryogenics and Superconductivity 61 77-, 1999-11-10

詳細情報

• CRID: 1572543024950718336
• NII論文ID: 10013805310
• NII書誌ID: AA1195143X
• ISSN: 09195998
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles