対向型DCマグネトロンスパッタリング法によるYBa_2Cu_3O_x薄膜成長に及ぼすガス圧の影響 Influence of gas pressure on growth of YBa_2Cu_3O_x thin films by double-side DC magnetoron sputtering method

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収録刊行物

  • 低温工学・超電導学会講演概要集 = Meetings of Cryogenics and Superconductivity

    低温工学・超電導学会講演概要集 = Meetings of Cryogenics and Superconductivity 61, 168, 1999-11-10

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10013805493
  • NII書誌ID(NCID)
    AA1195143X
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    SHO
  • ISSN
    09195998
  • データ提供元
    CJP書誌 
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