穴埋めめっきに用いるCuめっき添加剤のメカニズム第3報-開口寸法の影響 Effect of Opening Width on Copper Filling Electrodeposition

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抄録

トレンチ底部からのめっき析出促進効果について,トレンチの破面観察およびトレンチ底部のみに電極を有するパターン電極を用いた電流電位測定を行い解析した。破面観察よりSPS(Bis(3-sulfopropyl)disulfide)はトレンチ底部からのめっき析出を促進する効果があることが明らかとなった。この促進効果は時間とともに急激に増大する時間依存性がある。開口寸法を変化させたパターン電極を作製した。このパターン電極を用いた電流電位測定では,添加剤SPSが存在する場合,開口寸法が狭いと電流密度が大きく増加する。この増大はSPSと関連しためっき析出促進物質のトレンチ内部での蓄積に起因すると考えられる。

Accerelation effect has been analyzed by both cross section observation of trench and currentvoltage curves measured with electrode only at trench bottom. The cross section observation indicates that the SPS (Bis(3-sulfopropyl) disulfide) has trench bottom accerelation effect. This trench bottom accerelation effect increases with electrodeposition time. The current-voltage curves indicates that the current at trench bottom electrodes increase with narrower trench opening width. This increase in current must be related to the accumulation of SPS accerelator within the trench.

収録刊行物

  • エレクトロニクス実装学会誌

    エレクトロニクス実装学会誌 6(2), 136-139, 2003-03-01

    社団法人エレクトロニクス実装学会

参考文献:  15件中 1-15件 を表示

各種コード

  • NII論文ID(NAID)
    10013958442
  • NII書誌ID(NCID)
    AA11231565
  • 本文言語コード
    JPN
  • 資料種別
    ART
  • ISSN
    13439677
  • NDL 記事登録ID
    6483860
  • NDL 雑誌分類
    ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
  • NDL 請求記号
    Z74-B258
  • データ提供元
    CJP書誌  NDL  NII-ELS 
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