円周走査型原子間力顕微鏡の開発

• 木之下 博

• 酒向 智也

• 田川 雅人

書誌事項

タイトル別名

• エンシュウ ソウサガタ ゲンシカンリョク ケンビキョウ ノ カイハツ

収録刊行物

• トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編

  トライボロジスト = Journal of Japanese Society of Tribologists / 日本トライボロジー学会 編 49 (11), 886-893, 2004

  東京 : 日本トライボロジー学会 ; 1989-

キーワード

• SPM
• AFM
• micromachine
• roundness instrument
• circumferential profiling

詳細情報

• CRID: 1520572357746208256
• NII論文ID: 10014056953
• NII書誌ID: AN10056166
• ISSN: 09151168
• NDL書誌ID: 7151868
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7151868
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN11(科学技術--機械工学・工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles