ＳｉＧｅ系エピタキシャル成長とその原子層制御

• 室田 淳一

  東北大学電気通信研究所

• 櫻庭 政夫

  東北大学電気通信研究所

書誌事項

タイトル別名

• SiGe Epitaxial Growth and Its Atomic-Layer Control
• SiGeケイ エピタキシャル セイチョウ ト ソノ ゲンシソウ セイギョ

収録刊行物

• 真空

  真空 48 (1), 8-12, 2005

  一般社団法人 日本真空学会

キーワード

• Electrical and Electronic Engineering
• Surfaces, Coatings and Films
• Condensed Matter Physics

詳細情報

• CRID: 1390282679040054528
• NII論文ID: 10014381754
• NII書誌ID: AN00119871
• DOI: 10.3131/jvsj.48.8
• ISSN: 18809413
• ISSN: 05598516
• NDL書誌ID: 7241985
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/7241985
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7241985
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • KAKEN