数値制御プラズマＣＶＭによるＸ線ミラーの加工に関する研究　（第１報）　　Ｘ線ミラー加工用装置の開発

• 森 勇藏

  大阪大学大学院工学研究科

• 山村 和也

  大阪大学大学院工学研究科

• 佐野 泰久

  大阪大学大学院工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• The Study of Fabrication of the X-ray Mirror by Numerically Controlled Plasma CVM(1st Report)
• スウチ セイギョ プラズマ CVM ニ ヨル Xセン ミラー ノ カコウ ニ カンスル ケンキュウ ダイ1ポウ Xセン ミラー カコウヨウ ソウチ ノ カイハツ
• X線ミラー加工用装置の開発

抄録

Numerically controlled plasma CVM machine has been developed in order to fabricate the ultra-high accuracy X-ray mirror efficiently without making the deformed layer. In this machine, gas bearing was applied to the rotary electrode for plasma generation and XY-table in order to maintain the cleanliness of the machining atmosphere. As a result of machining the plane mirror made of the silicon for the X-ray using this machine, 22.5nm (p-v) was achieved as flatness.

収録刊行物

• 精密工学会誌

  精密工学会誌 67 (1), 131-136, 2001

  公益社団法人 精密工学会

キーワード

• atmospheric pressure plasma
• plasma CVM
• radical
• X-ray mirror
• aspherical mirror

詳細情報

• CRID: 1390001204797218560
• NII論文ID: 10015505891
• NII論文ID: 110001373002
• NII書誌ID: AN1003250X
• DOI: 10.2493/jjspe.67.131
• ISSN: 1882675X
• ISSN: 09120289
• ISSN: http://id.crossref.org/issn/09120289
• NDL書誌ID: 5629227
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I5629227
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可