Measurement of Pinhole Defect of DLC Film by Anodic Polarization Method
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- TATEIWA Junichi
- University of Hyogo
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- UCHIDA Hitoshi
- University of Hyogo
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- YATSUZUKA Mitsuyasu
- University of Hyogo
Bibliographic Information
- Other Title
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- アノード分極法によるDLC膜のピンホール欠陥評価
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Journal
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- 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会
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電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2005 (20), 61-65, 2005-03-04
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Keywords
Details 詳細情報について
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- CRID
- 1572543025038879488
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- NII Article ID
- 10015556589
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- NII Book ID
- AA11501025
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles