微細加工技術によるスリット型流路を用いた圧力微分計の開発

• 川嶋 健嗣

• 五十嵐 康一

• 小玉 亮太

Bibliographic Information

Other Title

• ビサイ カコウ ギジュツ ニ ヨル スリットガタ リュウロ オ モチイタ アツリョク ビブンケイ ノ カイハツ

Journal

• 計測自動制御学会論文集 = Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers

  計測自動制御学会論文集 = Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers 41 (5), 405-410, 2005-05

  東京 : 計測自動制御学会 ; [1965]-

Keywords

• measurement
• pneumatics
• pressure differentiator
• Micro Machining Technology

Details

• CRID: 1520009407758549888
• NII Article ID: 10015728424
• NII Book ID: AN00072392
• ISSN: 04534654
• NDL BIB ID: 7367402
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7367402
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM11(科学技術--科学技術一般--制御工学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN