ArFエキシマレーザリソグラフィ用単色屈折光学系と材料

• 小椋 行夫

  NEC光エレクトロニクス研究所

書誌事項

タイトル別名

• Dioptric Monochromart Optical System and Glasses for ArF Excimer Laser Lithography

収録刊行物

• 光波センシング技術研究会講演論文集 = Proceedings of ... Meeting on Lightwave Sensing Technology

  光波センシング技術研究会講演論文集 = Proceedings of ... Meeting on Lightwave Sensing Technology 18 25-31, 1996-12-11

詳細情報

• CRID: 1573668924961251456
• NII論文ID: 10015809757
• NII書誌ID: AN10547747
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles