メタン及び窒素プラズマソースを用いて作製したアモルファスカーボン薄膜の特性評価

• 鎌田 直樹

• 林 靖彦

• 曽我 哲夫

書誌事項

タイトル別名

• メタン オヨビ チッソ プラズマソース オ モチイテ サクセイ シタ アモルファスカーボン ハクマク ノ トクセイ ヒョウカ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 105 (89), 27-31, 2005-05-26

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• 窒素ドーピング
• ダブルビーム法
• 導電率
• Amorphous carbon films
• Nitrogen doping
• Double beam method
• Conductivity

詳細情報

• CRID: 1520009408554840064
• NII論文ID: 10016151183
• NII論文ID: 10016151618
• NII論文ID: 10016152053
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 7359776
• NDL書誌ID: 7360344
• NDL書誌ID: 7360166
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7359776
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7360344
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7360166
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles