Nd:YAG高周波レーザによる窒化アルミニウムの微細穴加工

• 岡本 康寛

• 宇野 義幸

• 片岡 範生

書誌事項

タイトル別名

• Nd YAG コウシュウハ レーザ ニ ヨル チッカ アルミニウム ノ ビサイ アナカコウ
• 第184回電気加工研究会
• ダイ184カイ デンキ カコウ ケンキュウカイ

収録刊行物

• 電気加工技術

  電気加工技術 29 (92), 8-13, 2005-06-10

  東京 : 電気加工学会

詳細情報

• CRID: 1521136279729821952
• NII論文ID: 10016444244
• NII書誌ID: AN0033342X
• ISSN: 03891550
• NDL書誌ID: 7696355
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7696355
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN31(科学技術--電気工学・電気機械工業)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles