堆積金属酸化法によるHfO2/Si構造の作成とその高分解能RBS評価

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  • タイセキ キンゾク サンカホウ ニ ヨル HfO2 Si コウゾウ ノ サクセイ ト ソノ コウ ブンカイノウ RBS ヒョウカ

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