大気圧非平衡プラズマの工学的発展を支えるモデリング

• 杤久保 文嘉

  首都大学東京 都市教養学部 電気電子工学コース

• 内田 諭

  首都大学東京 都市教養学部 電気電子工学コース

書誌事項

タイトル別名

• Modeling of atmospheric pressure nonthermal plasma for engineering design
• タイキアツ ヒヘイコウ プラズマ ノ コウガクテキ ハッテン オ ササエル モデリング

抄録

気体放電を用いた大気圧非平衡プラズマは，室温で高い化学反応性を示すことから，プラズマプロセス，環境浄化技術，光源技術などに広く利用されている．また，大気圧ならではの特徴を活かし，さまざまな技術が育ちつつある．本稿では，代表的な大気圧非平衡プラズマの発生法である誘電体バリア放電について，シミュレーションより明らかとなった物理的な特徴を中心に記述する．用いるガスや電圧印加法などによって誘電体バリア放電はさまざまな形態を有するが，これを分岐するのは電離係数などの基本的なパラメーターであった．すなわち，分子・原子の特徴を理解したプラズマの設計が必要であり，この点でもシミュレーションは有用である．

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 74 (8), 1081-1086, 2005-08-10

  公益社団法人 応用物理学会

キーワード

• atmospheric pressure non-thermal plasma
• gas discharge simulation
• dielectric barrier discharge
• filamentary discharge
• atmospheric pressure glow discharge
• microplasmas

詳細情報

• CRID: 1390001277360562560
• NII論文ID: 10016614757
• NII書誌ID: AN00026679
• DOI: 10.11470/oubutsu.74.8_1081
• ISSN: 21882290
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 7440266
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/7440266
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7440266
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可