真空中における電子ビーム照射による絶縁物上帯電過程の実時間計測

• 伊藤 慎悟

  名古屋大

• 鰐部 尚佳

  名古屋大

• 加藤 克巳

  名古屋大

• 袴田 好美

  日立製作所

• 大久保 仁

  名古屋大

書誌事項

タイトル別名

• Real-time Measurement of the Charging Process on Dielectric Surface Caused by Electron Beam in Vacuum

収録刊行物

• 電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集 = Proceeding of Annual Conference of Fundamentals and Materials Society, IEE Japan

  電気学会基礎・材料・共通部門大会講演論文集 = Proceeding of Annual Conference of Fundamentals and Materials Society, IEE Japan 2000 202-, 2000-09-07

キーワード

• 真空
• 絶縁物
• 帯電
• 実時間計測
• 電子ビーム

詳細情報

• CRID: 1571980075203179520
• NII論文ID: 10016714797
• NII書誌ID: AA11982604
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles