プラズモン共鳴を用いた近接場光増強Siナノフォトダイオード

• 大橋 啓之

  日本電気(株) 基礎・環境研究所

• 藤方 潤一

  日本電気(株) 基礎・環境研究所

• 石 勉

  日本電気(株) 基礎・環境研究所

• 西 研一

  日本電気(株) 基礎・環境研究所

• 馬場 寿夫

  日本電気(株) 基礎・環境研究所

書誌事項

タイトル別名

• Silicon nano-photodiode using optical near-field enhanced by surface-plasmon resonance
• 最近の展望 プラズモン共鳴を用いた近接場光増強Siナノフォトダイオード
• サイキン ノ テンボウ プラズモン キョウメイ オ モチイタ キンセツバ ヒカリ ゾウキョウ Si ナノフォトダイオード

抄録

GHz台で応答する光電変換素子をSi材料主体のCMOS製造プロセスに適合させるために，筆者らは近接場光を利用したナノフォトダイオードを開発した．これは，素子表面に設けたプラズモン共鳴を生じるための金属製のアンテナとナノスケールの微小な受光部とを組み合わせることで，高速性と高感度特性を両立させた光電変換素子である．これら二つの特性が両立可能な受光素子は，VLSIの配線遅延問題解決に向けたチップ内光配線導入に必要である．ナノフォトダイオードは，高機能なエレクトロニクスと高伝送容量の光配線をつなぐ基本素子として期待される技術である．

収録刊行物

• 応用物理

  応用物理 74 (11), 1453-1457, 2005-11-10

  公益社団法人 応用物理学会

キーワード

• surface plasmons
• near-field optics
• nano-photodiode
• Si CMOS compatible
• optical interconnect

詳細情報

• CRID: 1390564227310582656
• NII論文ID: 10016763467
• NII書誌ID: AN00026679
• DOI: 10.11470/oubutsu.74.11_1453
• ISSN: 21882290
• ISSN: 03698009
• NDL書誌ID: 7717393
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7717393
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可