電子線誘起蒸着によるナノ構造の直接描画

• 三石 和貴

• 下条 雅幸

• 古屋 一夫

Bibliographic Information

Other Title

• デンシセン ユウキ ジョウチャク ニ ヨル ナノ コウゾウ ノ チョクセツ ビョウガ
• 特集 透過電子顕微鏡法の最前線とセラミックス
• トクシュウ トウカ デンシ ケンビキョウホウ ノ サイゼンセン ト セラミックス

Journal

• Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan

  Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan 40 (11), 949-952, 2005-11

  東京 : 日本セラミックス協会

Keywords

• Beam induced deposition
• Transmission electron microscopy
• Nanostructure
• Nano-fabrication

Details

• CRID: 1520290883288070528
• NII Article ID: 10016763925
• NII Book ID: AN00131516
• ISSN: 0009031X
• NDL BIB ID: 7718971
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7718971
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN