Tensile Testing of Insulating Thin Films ; Humidity Effect on Tensile Strength of SiO_2 Films

• TSUCHIYA Toshiyuki

  Toyota Central R. & D. Laboratories, Inc.

• INOUE Atsuko

  Toyota Central R. & D. Laboratories, Inc.

• SAKATA Jiro

  Toyota Central R. & D. Laboratories, Inc.

Bibliographic Information

Other Title

• プラズマCVD SiO_2薄膜の引張試験 : 試験雰囲気が引張強度に与える影響評価

Journal

• 電気学会研究会資料. MM, マイクロマシン研究会

  電気学会研究会資料. MM, マイクロマシン研究会 1999 (13), 5-9, 1999-09-07

Keywords

• Thin film mechanical property
• Tensile test
• Fracture Toughness
• SiO_2
• Humidity

Details

• CRID: 1574231874988079616
• NII Article ID: 10016813866
• NII Book ID: AA11357111
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles