レーザPVD法成膜時における水素プラズマエッチング効果

• 相馬 千里

  日本大学

• 鈴木 薫

  日本大学

• 中田 順治

  日本大学

書誌事項

タイトル別名

• Hydrogen Plasmas Etching Effect at Preparing Thin Films by Using Laser PVD Method

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会

  電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2000 (13), 43-48, 2000-01-28

キーワード

• 水素プラズマ
• レーザPVD
• エッチング

詳細情報

• CRID: 1570291225327182592
• NII論文ID: 10016820004
• NII書誌ID: AN10320559
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles