ナノ3次元形状計測技術

• 高谷 裕浩

  大阪大学 大学院工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• 3D Surface Measurement Technology of Micropart with Nano-tolerances
• ナノ 3ジゲン ケイジョウ ケイソク ギジュツ

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 56 (12), 780-780, 2005

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• Optical Measurement
• 3D Surface
• Nanometrology
• Nano-CMM

詳細情報

• CRID: 1390001204117508480
• NII論文ID: 10016921011
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.56.780
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL書誌ID: 7786461
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7786461
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/sfj/56/12/56_12_780/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles