進化するナノテクノロジー　　ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した３次元微細構造形成

• 森田 昇

  富山大学 工学部

• 川堰 宣隆

  日本学術振興会特別研究員(富山大学 工学部)

書誌事項

タイトル別名

• Three-dimensional Nanofabrication Using a Combination of Nano-scale Machining and Wet Chemical Etching
• ナノスケール機械加工と化学エッチングを併用した3次元微細構造形成
• ナノスケール キカイ カコウ ト カガク エッチング オ ヘイヨウ シタ 3ジゲン ビサイ コウゾウ ケイセイ

収録刊行物

• 表面技術

  表面技術 56 (12), 852-857, 2005

  一般社団法人 表面技術協会

キーワード

• Tribo-Nanolithography
• Focused Ion Beam
• Three-dimensional Nanofabrication
• Maskless Patterning

詳細情報

• CRID: 1390282679094681600
• NII論文ID: 10016921295
• NII書誌ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.56.852
• COI: 1:CAS:528:DC%2BD28XntFamtg%3D%3D
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL書誌ID: 7786648
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7786648
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles