Y字状フィルタードアーク蒸着装置の開発と銅配線膜の成膜  [in Japanese] Development of Y-shape Filtered Arc Deposition Apparatus and Cu Film Deposition for Wiring  [in Japanese]

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  • 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会

    電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2005(143), 41-44, 2005-12-08

References:  19

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    10016961167
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN10320559
  • Text Lang
    JPN
  • Article Type
    ART
  • Data Source
    CJP 
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