正・負超磁歪薄膜で構成される高感度複合運動機能素子

• 増田 進吾

  東海大学大学院工学研究科金属材料工学専攻

• 松村 義人

  東海大学連合大学院理工学研究科

• 西 義武

  東海大学大学院工学研究科金属材料工学専攻 東海大学連合大学院理工学研究科

書誌事項

タイトル別名

• High Responsiveness Composite Mover Device Constructed with Positive and Negative Giant Magnetostrictive Films
• セイ フ チョウジワイ ハクマク デ コウセイ サレル コウカンド フクゴウ ウンドウ キノウ ソシ

抄録

  Composite mover device constructed with both negative and positive magnetostrictive thin films on each side surface of silicon substrate were prepared by DC magnetron sputtering process. The magnetic field induced mover strain (an apparent magnetostriction) of composite mover device at 150 kA/m of magnetic field was as same as the sum of magnetostriction values of Sm-Fe negative and Tb-Fe positive magnetostrictive thin films. Although the magnetostrictive susceptibility of Sm-Fe negative and Tb-Fe positive magnetostrictive thin films were over 8.6 and 5.42 ppm/kA•m^-1, respectively, an apparent magnetostrictive susceptibility of the composite mover device was 36.4 ppm/kA•m^-1. We concluded that composite process tremendously enhanced the apparent magnetostrictive susceptibility. Composite mover device with high responsiveness was developed.<br>

収録刊行物

• 日本金属学会誌

  日本金属学会誌 70 (2), 166-168, 2006

  公益社団法人 日本金属学会

キーワード

• samarium
• terbium
• iron
• composite
• mover film
• direct current magnetron sputtering
• magnetostriction
• susceptibility

詳細情報

• CRID: 1390282681456236928
• NII論文ID: 10017283649
• NII論文ID: 130004455676
• NII書誌ID: AN00187860
• DOI: 10.2320/jinstmet.70.166
• ISSN: 18806880
• ISSN: 24337501
• ISSN: 00214876
• ISSN: http://id.crossref.org/issn/00214426
• NDL書誌ID: 7860672
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/7860672
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7860672
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/jinstmet/70/2/70_2_166/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
  • KAKEN
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可