半導体グレード世界最高超高純度鉄およびコバルトの開発

• 打越 雅仁

  ソニー宮城株式会社第1事業部

• 今泉 純一

  株式会社田中化学研究所

• 渋谷 英香

  株式会社田中化学研究所

• 三村 耕司

  東北大学多元物質科学研究所

• 一色 実

  東北大学多元物質科学研究所

書誌事項

タイトル別名

• Development of Semiconductor Grade World's Highest Purity Fe and Co
• シン ギジュツ シンセイヒン ハンドウタイ グレード セカイ サイコウ チョウコウジュンドテツ オヨビ コバルト ノ カイハツ

収録刊行物

• まてりあ

  まてりあ 45 (3), 216-218, 2006

  公益社団法人 日本金属学会

詳細情報

• CRID: 1390282679032103040
• NII論文ID: 10017967145
• NII書誌ID: AN10433227
• DOI: 10.2320/materia.45.216
• ISSN: 18845843
• ISSN: 13402625
• NDL書誌ID: 7903780
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7903780
• Web Site: https://www.jstage.jst.go.jp/article/materia1994/45/3/45_3_216/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles