静電効果を用いたセンサ--MEMS静電容量型センサ

• 柳崎 高文

書誌事項

タイトル別名

• セイデンコウカ オ モチイタ センサ MEMS セイデンヨウリョウガタ センサ
• 特集 フレッシュマンのための計測講座
• トクシュウ フレッシュマン ノ タメ ノ ケイソク コウザ

収録刊行物

• 計測と制御 : journal of the Society of Instrument and Control Engineers

  計測と制御 : journal of the Society of Instrument and Control Engineers 45 (4), 302-305, 2006-04

  東京 : 計測自動制御学会 ; 1962-

キーワード

• micro electro mechanical systems
• シリコン
• silicon
• 静電容量
• capacitive
• 圧力センサ
• pressure sensor

詳細情報

• CRID: 1520290884433098368
• NII論文ID: 10018113485
• NII論文ID: 40007271513
• NII書誌ID: AN00072406
• ISSN: 04534662
• NDL書誌ID: 7932567
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I7932567
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZM11(科学技術--科学技術一般--制御工学)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles