X線を用いた微細加工技術「LIGAプロセス」

• 平田 嘉裕

Bibliographic Information

Other Title

• Xセン オ モチイタ ビサイ カコウ ギジュツ LIGA プロセス
• 特集 第17回放射線夏の学校
• トクシュウ ダイ17カイ ホウシャセン ナツ ノ ガッコウ

Journal

• 放射線 = Ionizing radiation

  放射線 = Ionizing radiation 32 (2), 104-110, 2006-04

  [東京] : 応用物理学会放射線分科会

Details

• CRID: 1520572359168894080
• NII Article ID: 10018165867
• NII Book ID: AN00313954
• ISSN: 02853604
• NDL BIB ID: 8010191
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8010191
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZM35(科学技術--物理学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles