Profile Measurement and Analysis Technology Employing Laser Beam

• SHIRAE Tomohiro

  KEYENCE Corporation

Bibliographic Information

Other Title

• 最近の表面形状測定技術　　レーザ光を利用した表面形状評価技術
• レーザ光を利用した表面形状評価技術
• レーザコウ オ リヨウ シタ ヒョウメン ケイジョウ ヒョウカ ギジュツ

Journal

• Journal of The Surface Finishing Society of Japan

  Journal of The Surface Finishing Society of Japan 57 (8), 559-563, 2006

  The Surface Finishing Society of Japan

Keywords

• Laser Scanning Microscope
• Surface Roughness
• Surface Profiler

Details

• CRID: 1390282679093149184
• NII Article ID: 10018208718
• NII Book ID: AN1005202X
• DOI: 10.4139/sfj.57.559
• ISSN: 18843409
• ISSN: 09151869
• NDL BIB ID: 8066348
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8066348
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles