レーザー生成高輝度放射光源開発研究の現状とその展望

• 西村 博明

  大阪大学レーザーエネルギー学研究センター

書誌事項

タイトル別名

• Present Status and Future Prospect of Highly Bright Radiation Sources by Laser-Produced Plasma
• レーザー セイセイ コウキド ホウシャ コウゲン カイハツ ケンキュウ ノ ゲンジョウ ト ソノ テンボウ

抄録

Properties of laser-produced plasmas (LPP) are described to generate intense radiation for various applications including extreme ultra-violet (EUV) light for next generation lithography. After an overview of LPP physics, state-of-the-art topics relevant to the 13.5 nm EUV source are described

収録刊行物

• 電気学会論文誌．　Ａ

  電気学会論文誌．　Ａ 126 (12), 1195-1198, 2006

  一般社団法人 電気学会

キーワード

• レーザー生成プラズマ
• レーザー励起Ｘ線
• EUVリソグラフィ

詳細情報

• CRID: 1390282679570159232
• NII論文ID: 10018410706
• NII書誌ID: AN10136312
• DOI: 10.1541/ieejfms.126.1195
• BIBCODE: 2006IJTFM.126.1195N
• ISSN: 13475533
• ISSN: 03854205
• NDL書誌ID: 8592731
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/8592731
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8592731
• Web Site: http://www.jstage.jst.go.jp/article/ieejfms/126/12/126_12_1195/_pdf
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • Crossref
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可