AlGaN/GaN HEMTにおける1/f雑音特性の表面保護膜依存性

• 松島 孝典

• 中嶋 正裕

• 野本 一貴

書誌事項

タイトル別名

• AlGaN GaN HEMT ニ オケル 1 f ザツオン トクセイ ノ ヒョウメン ホゴ マク イゾンセイ

収録刊行物

• 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報

  電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 106 (377), 27-31, 2006-11-24

  東京 : 電子情報通信学会

キーワード

• PECVD
• スパッタ
• 1/f noise
• Surface Passivation
• Spatter

詳細情報

• CRID: 1520009409181147136
• NII論文ID: 110005717122
• NII論文ID: 10018438299
• NII論文ID: 110005717276
• NII論文ID: 110005717268
• NII書誌ID: AA1123312X
• ISSN: 09135685
• NDL書誌ID: 8572070
• NDL書誌ID: 8572177
• NDL書誌ID: 8572133
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8572070
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8572177
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8572133
• 本文言語コード: ja
• NDL 雑誌分類:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• データソース種別:
  • NDL
  • CiNii Articles