Al/アモルファス半導体系二層膜の結晶化とパターン形成

• 土井 稔

• 香月 太

• 熊谷 洋志

Bibliographic Information

Other Title

• Al アモルファス ハンドウタイケイ 2ソウ マク ノ ケッショウカ ト パターン ケイセイ

Journal

• 軽金属

  軽金属 57 (1), 30-36, 2007-01

  東京 : 軽金属学会

Keywords

• Al-Ge
• bilayer film
• crystallization
• fractal pattern
• surface precipitation

Details

• CRID: 1520853832396691328
• NII Article ID: 10018494998
• NII Book ID: AN00069773
• ISSN: 04515994
• NDL BIB ID: 8659592
• Web Site: http://id.ndl.go.jp/bib/8659592
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8659592
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZP41(科学技術--金属工学・鉱山工学)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN