「次世代ULSIデバイスのための誘電体薄膜 : 科学と技術」に関する2006年国際ワークショップ(IWDTF 2006)報告

• 山部 紀久夫

  筑波大電子・物理工学専攻

Journal

• 應用物理

  應用物理 76 (2), 186-, 2007-02-10

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• CRID: 1570572700406263936
• NII Article ID: 10018546540
• NII Book ID: AN00026679
• ISSN: 03698009
• Text Lang: ja
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  • CiNii Articles