円筒形キセノンICP光源のプローブ測定

• ナズリ アハマド

  愛媛大学

• 近藤 章

  愛媛大学

• 武田 拓也

  愛媛大学

• 本村 英樹

  愛媛大学

• 神野 雅文

  愛媛大学

書誌事項

タイトル別名

• Probe Measurement of Cylindrical Type Xenon ICP Discharge Lamp

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 2006 (84), 91-96, 2006-11-10

キーワード

• ダブルプローブ法
• ICP
• キセノン
• 電子温度
• 電子密度

詳細情報

• CRID: 1571980075276409600
• NII論文ID: 10018647552
• NII書誌ID: AA11501025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles