LIGAプロセスのマイクロセラミックス構造への応用

• 今道 高志

Bibliographic Information

Other Title

• LIGA プロセス ノ マイクロ セラミックス コウゾウ エ ノ オウヨウ
• 特集 イノベーティブセラミックスのためのナノ粒子液相プロセッシング
• トクシュウ イノベーティブ セラミックス ノ タメ ノ ナノ リュウシ エキソウ プロセッシング

Journal

• Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan

  Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan 42 (2), 114-118, 2007-02

  東京 : 日本セラミックス協会

Keywords

• Synchrotron radiation
• LIGA process
• Ceramics molding

Details

• CRID: 1520290882064518272
• NII Article ID: 10018660110
• NII Book ID: AN00131516
• ISSN: 0009031X
• NDL BIB ID: 8675207
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8675207
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZP9(科学技術--化学・化学工業--無機化学・無機化学工業--セラミックス・窯業)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles