電子線照射効果を用いたナノ構造作製

• 三石 和貴

• 劉 志権

• 下条 雅幸

Bibliographic Information

Other Title

• デンシセン ショウシャ コウカ オ モチイタ ナノ コウゾウ サクセイ
• 特集:ビーム誘起・励起効果
• トクシュウ ビーム ユウキ レイキコウカ

Journal

• 顕微鏡 = Microscopy / 「顕微鏡」編集委員会 編

  顕微鏡 = Microscopy / 「顕微鏡」編集委員会 編 41 (3), 164-166, 2006

  東京 : 日本顕微鏡学会

Keywords

• 電子線誘起蒸着
• モンテカルロ法
• 近接効果

Details

• CRID: 1520290883827379200
• NII Article ID: 10018791256
• NII Book ID: AA11917781
• ISSN: 13490958
• NDL BIB ID: 8609453
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I8609453
• Text Lang: ja
• NDL Source Classification:
  • ZN33(科学技術--電気工学・電気機械工業--電子工学・電気通信)
• Data Source:
  • NDL
  • CiNii Articles
  • KAKEN