Development of flowsensor using thin film device

• INOUE Shin-ichi

  Mitsui Kinzoku Corporate R&D center

• TOMONARI Kenji

  Mitsui Kinzoku Corporate R&D center

• KAWANISHI Toshiaki

  Mitsui Kinzoku Corporate R&D center

• YAMAGISHI Kiyoshi

  Mitsui Kinzoku Corporate R&D center

Bibliographic Information

Other Title

• 薄膜流量センサーの開発

Journal

• 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会

  電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2001 (1), 1-4, 2001-11-21

Keywords

• flowsensor
• Pt temperature sensor
• Ta-SiO_2 heater

Details

• CRID: 1570291225422985856
• NII Article ID: 10018971923
• NII Book ID: AA11486078
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles