Localized Bonding Technology with Polysilicon Heater
-
- SUGIURA Masanori
- Tokyo University of Agriculture & Technology
-
- WATANABE Shunsuke
- Tokyo University of Agriculture & Technology
-
- IIDA Kiyoshi
- Tokyo University of Agriculture & Technology
-
- IKEDA Kyoichi
- Tokyo University of Agriculture & Technology
Bibliographic Information
- Other Title
-
- ポリシリコンヒーターを用いた局所接合技術の研究
Search this article
Journal
-
- 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会
-
電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2001 (1), 51-54, 2001-11-21
- Tweet
Keywords
Details 詳細情報について
-
- CRID
- 1570854175376408576
-
- NII Article ID
- 10018971996
-
- NII Book ID
- AA11486078
-
- Text Lang
- ja
-
- Data Source
-
- CiNii Articles