高分子材料をメンブレンとしたX線マスクの試作と評価
書誌事項
- タイトル別名
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- Fabrication and Estimation of X-ray mask using polymer film as a membrane
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会
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電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2001 (1), 55-58, 2001-11-21
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1570009750446426112
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- NII論文ID
- 10018972003
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- NII書誌ID
- AA11486078
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles