Characteristics and Trends of Plasma and Ion Processes

• KIUCHI Masato

  Institute of Photonics, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology

Bibliographic Information

Other Title

• プラズマ・イオンプロセスの流れと将来動向

Journal

• 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会

  電気学会研究会資料. ED, 放電研究会 2001 (252), 23-24, 2001-12-10

Keywords

• plasma
• ion
• process
• surface reaction
• charge
• momentum

Details

• CRID: 1570291225462217472
• NII Article ID: 10018987201
• NII Book ID: AN10320559
• Text Lang: ja
• Data Source:
  • CiNii Articles