マイクロマシニング技術を用いた光学式距離センサの開発
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- 岡 徹
- 三菱電機
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- 仲嶋 一
- 三菱電機
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- 中島 利郎
- 三菱電機
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- 高嶋 和夫
- 三菱電機
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- WALLRABE Ulrike
- カールスルーエ研究センター
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- HOLLENBACH Uwe
- カールスルーエ研究センター
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- MOHR Jurgen
- カールスルーエ研究センター
書誌事項
- タイトル別名
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- Development of an optical distance sensor fabricated by micromachining technology
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収録刊行物
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- 電気学会研究会資料. LAV, 光応用・視覚研究会
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電気学会研究会資料. LAV, 光応用・視覚研究会 2002 (12), 37-41, 2002-11-28
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1571135650392801664
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- NII論文ID
- 10018988925
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- NII書誌ID
- AN00346658
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- 本文言語コード
- ja
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- データソース種別
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- CiNii Articles