MgO高速成膜用誘導放電支援反応性スパッタリング法の開発(発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)

• 松田 良信

  長崎大学工学部電気電子工学科

• 田代 佳

  長崎大学工学部電気電子工学科

• 小山 悠

  長崎大学工学部電気電子工学科

• 藤山 寛

  長崎大学工学部電気電子工学科

書誌事項

タイトル別名

• Development of Reactive Sputtering Method Assisted by Inductively Coupled Discharge for High-Rate Deposition of Magnesium Oxide
• MgO高速成膜用誘導放電支援反応性スパッタリング法の開発
• MgO コウソクセイ マクヨウ ユウドウ ホウデン シエン ハンノウセイ スパッタリングホウ ノ カイハツ

抄録

プラズマディスプレイパネルにおける電極保護膜として利用される酸化マグネシウム薄膜のいっそうの高品質化と高速成膜化を実現することを目指して、コンベンショナルなプレーナマグネトロンと誘導結合プラズマとを融合した新しい反応性スパッタリングプロセスを提案する。本報告では、これまでに得られた電気的放電特性とプラズマパラメータ(電子密度、電子温度)発光特性についての実験結果を示し、誘導結合プラズマ支援プレーナマグネトロンスパッタリング装置開発の現状を報告する。

収録刊行物

• 映像情報メディア学会技術報告

  映像情報メディア学会技術報告 26.6 (0), 127-132, 2002

  一般社団法人 映像情報メディア学会

キーワード

• 酸化マグネシウム
• プレーナマグネトロン
• 誘導結合プラズマ
• 反応性スパッタリング

詳細情報

• CRID: 1390001204526877824
• NII論文ID: 110003269926
• NII論文ID: 10018990717
• NII論文ID: 110003671692
• NII書誌ID: AN1059086X
• ISSN: 09135685
• ISSN: 24241970
• ISSN: 13426893
• DOI: 10.11485/itetr.26.6.0_127
• NDL書誌ID: 6123675
• NDL書誌ID: 6083232
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6123675
• Web Site: https://ndlsearch.ndl.go.jp/books/R000000004-I6083232
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • JaLC
  • NDL
  • CiNii Articles
• 抄録ライセンスフラグ: 使用不可