SITインバータとイミタンス回路による熱プラズマの高効率生成

• 上杉 喜彦

  名古屋大学

• 廣橋 裕樹

  名古屋大学

• 近藤 健二

  名古屋大学

• 高村 秀一

  名古屋大学

書誌事項

タイトル別名

• Efficient Production of RF Thermal Plasmas Using SIT Inverter with Immittance Circuit

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. EDD, 電子デバイス研究会

  電気学会研究会資料. EDD, 電子デバイス研究会 2001 (68), 7-12, 2001-10-25

キーワード

• 静電誘導トランジスタ
• 高周波インバータ
• 高周波誘導熱プラズマ
• イミタンス回路

詳細情報

• CRID: 1572261550272804352
• NII論文ID: 10018991733
• NII書誌ID: AN1044178X
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles