スパッタ法による感温磁性薄膜の作製と特性評価

• 安宍 善史

  岩手大学

• 長田 洋

  岩手大学

• 石井 修

  岩手大学

• 島津 誠一

  岩手大学

• 千葉 茂樹

  岩手大学

• 関 享士郎

  岩手大学

• 高橋 強

  岩手県立高技専

• 吉田 豊彦

  TBS

書誌事項

タイトル別名

• Preparation and Characterization of Temperature-Sensitive Magnetic Thin Film by Sputtering Method

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. MAG, マグネティックス研究会

  電気学会研究会資料. MAG, マグネティックス研究会 1996 (146), 57-61, 1996-10-22

キーワード

• 感温磁性薄膜
• スパッタ法
• マイクロセンサ

詳細情報

• CRID: 1572824500309192192
• NII論文ID: 10019021939
• NII書誌ID: AN00346760
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles