マイクロ波放電プラズマ密度の非線形な電力依存性と不規則振動

• 仲代 隆之

  東京理科大学

• 加賀 純一

  東京理科大学

• 前田 譲治

  東京理科大学

• 小越 澄雄

  東京理科大学

書誌事項

タイトル別名

• Nonlinear Dependence of Plasma Density on Power and Irregular Oscillation in Microwave Discharge

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 1997 (62), 35-39, 1997-11-18

キーワード

• イオン飽和電流
• カオス
• リアプノフ次元
• 相関次元
• リアプノフ指数
• マイクロ放電
• 準周期振動

詳細情報

• CRID: 1572543025371303936
• NII論文ID: 10019030521
• NII書誌ID: AA11501025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles