三次元部材への適用例と現在の問題点

• 熊切 正

  神戸製鋼所

書誌事項

タイトル別名

• Applications for Three Dimensional Parts and Present Problems of Plasma-Based Ion Implantation

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会

  電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会 1999 (37), 35-38, 1999-09-08

キーワード

• プラズマイオン注入
• 三次元
• イオン注入
• 成膜
• 応用

詳細情報

• CRID: 1572261550373835904
• NII論文ID: 10019122566
• NII書誌ID: AA11501025
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles