レーザープラズマ軟X線による石英ガラスのナノ加工

• 内田 智

  筑波大学

• 藤森 隆成

  筑波大学

• 牧村 哲也

  筑波大学

• 村上 浩一

  筑波大学

• 新納 弘之

  産総研

書誌事項

タイトル別名

• Nanomachining of Quartz Plate Using Laser Plasma Soft X-rays

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会

  電気学会研究会資料. OQD, 光・量子デバイス研究会 2006 (1), 49-52, 2006-03-03

キーワード

• レーザープラズマ軟X線
• 光学ガラス
• 石英ガラス
• X線加工
• 微細加工
• ナノ加工
• レーザーアブレーション
• X線光学
• 光加工

詳細情報

• CRID: 1570854175501809024
• NII論文ID: 10019203795
• NII書誌ID: AN00140211
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles
  • KAKEN