Proportional Output Type Absolute Temperature Sensor and Its Application to the Thin-Film Pirani Vacuum Sensor
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- TAKASHIMA Noriaki
- Tohoku Gakuin University
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- KIMURA Mitsuteru
- Tohoku Gakuin University
Bibliographic Information
- Other Title
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- 絶対温度比例出力型温度センサとその薄膜ピラニ真空センサへの応用
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Journal
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- 電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会
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電気学会研究会資料. PHS, フィジカルセンサ研究会 2007 (14), 63-68, 2007-07-02
電気学会
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1570291225538242432
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- NII Article ID
- 10019581295
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- NII Book ID
- AA11486078
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- Text Lang
- ja
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- Data Source
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- CiNii Articles