CNx成膜のためのシャンティングアークを用いた炭素・窒素混合プラズマの生成

• 今西 圭吾

  岩手大学

• 村上 貴之

  岩手大学

• 向川 政治

  岩手大学

• 高木 浩一

  岩手大学

• 藤原 民也

  岩手大学

• 行村 建

  同志社大学

• 須田 善行

  北海道大学

書誌事項

タイトル別名

• Production of nitrogen-containing carbon shunting arc plasma for carbon nitride film preparation

収録刊行物

• 電気学会研究会資料. PPT, パルスパワー研究会

  電気学会研究会資料. PPT, パルスパワー研究会 2007 (19), 35-40, 2007-05-25

キーワード

• シャンティングアーク
• 複合プラズマ
• プラズマイオン注入
• CNx薄膜

詳細情報

• CRID: 1570009750561591424
• NII論文ID: 10019581454
• NII書誌ID: AA11404459
• 本文言語コード: ja
• データソース種別:
  • CiNii Articles