GaAsのスクラッチ加工におけるクラック発生機構の結晶方位依存性 : 第1報 : GaAsにおけるクラック発生機構の特異性  [in Japanese] Dependence of crack generation process on crystal orientation in scratching of gallium arsenide : 1^<st> report : Specificity of crack generation in gallium arsenide  [in Japanese]

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Journal

  • Journal of the Japan Society for Abrasive Technology

    Journal of the Japan Society for Abrasive Technology 51(9), 547-552, 2007-09-01

    砥粒加工学会

References:  12

Codes

  • NII Article ID (NAID)
    10019750454
  • NII NACSIS-CAT ID (NCID)
    AN10192823
  • Text Lang
    JPN
  • Article Type
    ART
  • ISSN
    09142703
  • NDL Article ID
    8906681
  • NDL Source Classification
    ZN11(科学技術--機械工学・工業)
  • NDL Call No.
    Z16-1147
  • Data Source
    CJP  NDL 
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